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真空电弧法超微粒子装置
真空电弧法超微粒子装置
Quantum Design电弧等离子体沉积系统APD
适用于超高真空环境中多维度纳米精度位移功能，负载可达几公斤，行程达到50mm，小步长50nm，配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm2024年10月25日 通过将本蒸发源增设在既存的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的"蒸发材料"，生成具有新特性的材料。 特点APS1｜电弧等离子体蒸发源｜纳米粒子形成装置｜ ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP 脉冲真空电弧蒸发是以简单的工艺产生金属离子，形成极薄膜和纳米粒子的唯一方法。 在微粒子的形成等方面，可以获得其他蒸发法不 ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP2013年4月22日 • 基本原理：在高 真空中蒸发的金 属原子在流动的 油面内形成极超 微粒子。 • 产品为含有大量 超微粒的糊状油。 • 可制备平均粒径约3nm 的超微粒， 而惰性气体 蒸气法时很 第五章 纳米微粒的制备与表面修饰 百度文库
真空电弧等离子射流蒸发法沉积超微粉
1991年12月25日 摘要: 在真空电弧等离子喷涂设备上设计安装了超微粉的制备装置。 制备出Fe,Si,Ni,Mo,TiAl,Ti3Al 和Si3N4等超微粉。 通过控制真空室工作压力和等离子弧电流,超微 瓷超微粉〔‘一 “。 其中真空电弧等离子射流蒸 发反应法既可在一定范围内任意调整超微粉 的化学组成， 又可控制粉中二次产物数量和 粉末的粒度， 特别适合制备合金及其氧化 物、 碳化物 电弧等离子射流蒸发反应法 制备碳化硅基超2005年8月2日 射线光电子能谱（)>D）等手段对超细微粒及其集合 体的结构与物性进行了分析研究1 ( 实验研究 $% 样品制备 采用真空电弧装置（见图$）制备铁磁性=,>?1 真空腔的预置真 电弧法磁性超细微粒分析直流电弧等离子体法的基本原理是在惰性气氛或反应性气氛中，通过直流放电(或其他方式)使气体电离产生高温等离子体，从而使金属熔融蒸发，得到金属蒸汽，金属蒸汽与周围惰性气体原子 东莞市微弧环保科技有限公司
枝術ノート(超微粒子の製法) 金属超微粒子 JSTAGE
は工業的規模で金属超微粒子の製造に用いられている ガス蒸発法ではないが,流 動油面上に金属を真空蒸発し て超微粒子を作る方法も試みられている6), 2 ガス蒸発法により作られた金属超微粒子の特徴 21 粒 径2013年4月22日 514 流动液面上真空蒸度法 • 基本原理：在高 真空中蒸发的金 属原子在流动的 油面内形成极超 微粒子。 • 产品为含有大量 超微粒的糊状油。 • 图14为制备装置 的剖面图： 11 真空下蒸 馏处理 Made by wenqi li 此方法的优点有：第五章 纳米微粒的制备与表面修饰 百度文库2024年11月6日 ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP 是利用脉冲真空电弧放电的新型纳米粒子形成装置。脉冲真空电弧蒸发是以简单的工艺产生金属离子，形成极薄膜和纳米粒子的唯一方法。在微粒子的形成等方面，可以获得其他蒸发法不能获得的效果。金山ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP2013年5月6日 如果以大块固体作原料，可让原料作为一极，在其与另一电极间直接加电场而起弧，产生等离子体，该法又可称为电弧法。 2、高频(RF) 等离子体制粉 高频等离子体制粉就是靠高频电磁感应线圈提供能量来产生等离子体，从而造成超微颗粒形成条件的。几种等离子体法制备超细粉体概述产业资讯中国粉体网
实验一电弧等离子体法制备纳米粉体 豆丁网
2012年7月4日 溶入熔融金属，然后释放出来，在气体中形成了金属的超微 粒子，用离心收集器、过滤式收集器使微粒与气体分离而获得纳米微粒。此种制 备方法的优点是超微颗粒的生成量随等离子气体中的氢气浓度增加而上升。三、实验仪器与试剂 自制电弧法纳米粉制备设备气体都是由单原子或多原子组成的，一般呈中性并具有一定的绝缘性质。在电极两端施加电压后，极间形成电场，在电场作用下，极间种子电子加速并与其他中性粒子碰撞，产生新的电子与离子，形成雪崩效应，使得气体变成电子和正离子组 气体电弧和真空电弧有什么区别？ 知乎2024年10月25日 同时蒸发不同的"蒸发材料"。通过将本蒸发源增设在既存的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的"蒸发材料"，生成具有新特性的材料。APS1｜电弧等离子体蒸发源｜纳米粒子形成装置｜ 真空电弧在真空环境中，电极间的气体十分稀薄，所以不存在空气电弧中气体的游离问题，电弧中的带电粒子主要来自于电极蒸发的气体金属蒸气分子的游离[2]，这些游离的金属蒸气分子为极间真空区域提供了大量的等离子体，形成承载电流 真空电弧阴极斑点的研究进展 文档之家
9 气相法(新)解析百度文库
流动液面上真空蒸发法装置示意图 油 旋转盘 真空室 含有超微 粒子的油 水冷铜坩埚 电子枪 93 溅射法(SIM) 惰性气体凝聚原位加压法： 惰性气体蒸发原 位加压法属于“一步法”，即制粉和成型是一 步完成的。“一步法”的步骤是：制备纳米颗 • 根据电弧所处的介质不同分为气中电弧和真空 电弧两种。 气体冷凝法合成Cu纳米粒子 金属铜粒子呈球形，粒径在20—100 nm， 粒子之间存在粘结。 气体冷凝法合成Bi纳米粒子 实验：惰性气体蒸发法法制备纳米铜粉第4章 纳米材料的制备方法A百度文库2006年11月29日 摘要：为了对大电流真空电弧进行深入研究，以真空电弧双温 度磁流体动力学模型为基础，通过计算流体动力学软件 FLUENT，采用控制容积法，对大电流真空电弧特性进行了仿 真研究。对于大电流真空电弧而言，等离子体的流动处于亚音大电流真空电弧磁流体动力学模型与仿真电弧等离子体法在纳米材料制备中的应用2 电弧等离子体法在纳米材料制备方面的应用2 1 纳米粉末的制备电弧等离子体法目前已 成功用 于制备单 质金属 纳米粉 末、 氮化物、 氧化物、 碳化物粉末等 , 用于制备合金粉末的也 较多 , 但 制备合金粉末时会出现分馏电弧等离子体法在纳米材料制备中的应用百度文库
《粉体工程》第6章气相法合成超微粉末颗粒 豆丁网
2021年12月16日 子，也可制备化合物超微粒子 ，产品多样化。4 • 氢电弧等离子体法，主要是用于在制备工 艺中使用氢气作为工作气体，可大幅度提 法纳米材料制备装置。多电极氢电弧等离子体法 纳米材料制备设备图 • 含有氢气的等离子体与金属间产生 Quantum Design日本Advance Riko 公司致力于电弧等离子体沉积系统（APD）利用脉冲电弧放电将电导材料离子化，产生高能离子并沉积在基底上，制备纳米级薄膜镀层或纳米颗粒。电弧等离子体沉积系统通过控制脉冲能量，可 Quantum Design电弧等离子体沉积系统APD細線をAr ガス中で蒸発させると金属Al 超微粒子が作 製できるが，O 2 ガス中で蒸発させるとAl 2 O 3 超微粒子 が，N 2 やNH 3 ガス中で蒸発させると AlN 超微粒子が 作製可能である。これまでに作製された超微粒子を Table 1 に示す。この，1 つの装置で異なる超微粒子パルス放電によるナノ粒子の作製とその粒径制御 JSTAGE3超微粒子のガスデポジション法 気体中に混合した超微粒子(金属,金属化合物など その材質を問わない。さらに有機化合物でもよい)を 図1の方法で細いノズル内を通して固体平板上に高速 図1 金属・金属化合物超微粒子のガス搬送スプレー で噴射する。超微粒子とエアロゾル JSTAGE
直流电弧等离子体蒸发法制备超细锌粉
2011年10月8日 蒸馏法、 雾化法、 高能球磨法 、电解法和真空蒸发 − 冷凝法。 其中雾化法制备的锌粉粒径在 10 μm 以上 ， 因而不能制备超细锌粉 [5] 。蒸馏法的生产效率高，但 制得的超细锌粉活性较低 [6] 。高能球磨法制得的超细 锌粉为鳞片状，但易污染。2010年4月20日 目前真空电弧的研究主要集中 在阴极斑点行为研究上，主要涉及纯金属阴极材料 的阴极斑点的产生机制、电流密度以及运动机制等 方面[3—8]．但是真空电弧研究较多集中在超高洁净 真空环境下引发的强电流放弧阶段，很少有关于微 弧放电过程的实验观测．Vol．59 April 真空短间隙微弧级联效应观测 物理学报2011年4月10日 在我们的实验中，大型真空电弧镀膜装置被用来在P型（111）硅片和石英玻璃基 体上沉积Zr02薄膜，在P型（111）硅片基体上沉积ZrN薄膜。§2．2阴极真空电弧装置 阴极电弧沉积装置是基于等离子体技术沉积薄膜的装置，沉积过程即可以在高阴极真空电弧技术制备氮化锆、氧化锆薄膜的研究 豆丁网2020年6月20日 氢电弧等离子体法 • 为了制取陶瓷超微粒子，如TiN及AlN，则掺有氢的惰性气体采用 N 2 气，被加热蒸发的金属为Ti及Al等。优点： 制取陶瓷超微粒子： 多电极氢电弧等离子体法纳米材料制备设备图 氢电弧等离子体法 氢电弧等离子体法 • 用两块金属板分别作为《纳米材料与器件》第6章气相法 豆丁网
自由电弧法与等离子电弧法制备超细粉末对比研究 豆丁网
2014年4月2日 布比电弧法窄、均匀、分散性要好。经能谱分析不含 C元素，这是因为等离子体是纯净气体电离产生，故 不会像电弧法那样，火焰中会含有没有燃烧完全的碳 和其它杂质。22XRD物相分析 图3及图4分别是等离子电弧法和自由电弧法制 得的SnO2粉末的XRD图谱。摘要： 从电弧镀膜到电推进系统，从汽车火花塞到核聚变装置，真空电弧在现代社会发展中扮演着重要的角色。 然而真空电弧作为一种极端条件下发生的放电现象，不易从实验中观测其性质。为了克服这一难题，本文应用等离子体放电理论和数值模拟的方法，对真空电弧进行数值模拟仿真。真空电弧数值模拟仿真研究学位万方数据知识服务平台电弧放电最显著的外观特征是明亮的弧光柱和电极斑点。 电弧放电可分为 3个区域： 含有超微粒子的油被甩进了真空室沿壁的容器中， 然后将这种超微粒含量很低的油在真空下进行蒸馏， 使它成为浓缩的含有超微粒子的糊状物。 24 第二十四页，共27页。 24纳米材料的制备方法及原理 (整理)百度文库2021年12月31日 真空电弧重熔是一种利用电弧作热源在真空条件下熔炼金属的真空熔炼技术，简称VAR。它包括真空电弧双电极重熔和真空凝壳炉熔炼。在真空下进行熔炼，不仅杜绝了外界空气对钢及合金的沾污，还可以降低钢及合金中 [科普中国]真空电弧重熔 科普中国网
アークプラズマ法ナノ粒子形成装置 APDシリーズ –
膜の平坦性、微粒子の形成など、他の蒸着法 では得られない効果を得ることができます。 用途 APDS（基板蒸着モデル 低熱抵抗多層基板用熱流量評価装置 FCAL 超高精度レーザ熱膨張計 SuperLIX 厚さ方向熱電特性評価装置 ZEMd 熱 作者研制了一套采用 IGC 法( 电弧加热) 制备纳米粉体的试验装置 , 并对 IGC 法制备纳米 粉体反应 容器中的 温度场进 行了 同时油相也起到收集超微粒子 及阻碍其团聚的作用。 。魏 研究结果表明, 纳米颗粒粒径可以通过改变 蒸发冷凝法制备纳米粉体的研究进展 百度文库2014年6月28日 §114 流动液面上真空蒸度法 流动液面上真空蒸度法的基本原理: 在高真空中蒸发的金属原子在流动的油面内形成超 微粒子，产品为含有大量超微粒的糊状油。 高真空中的蒸发是采用电子束加热，当水冷却坩埚 中的蒸发原料被加热蒸发时，打开快门、使物质蒸无机材料制备技术微纳粉体材料制备技术（PPT） 豆丁网纳米颗粒制备方法流动油面上的真空蒸发沉积法 （VEROS）将物质在真空中连续地蒸发到流动着 的油面上，然后把含有纳米粒子的 金属熔融，电离的N2、Ar等气体和H2溶入熔融金 属，然后释放出来，在气体中形成了金属的超微 粒子，用离心收集器或 纳米颗粒制备方法百度文库
ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP
ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDPULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP是利用脉冲真空电弧放电的新型纳米粒子形成装置。脉冲真空电弧蒸发是以简单的工艺产生金属离子，形成极薄膜和纳米粒子的唯一方法。在微粒子的真空电弧重熔炉（简称自耗炉VAR），是一种二次真空重熔精炼设备，它采用电弧作为热源，在真空水冷结晶器中熔化金属，以提高金属材料的纯净度和均匀性。在真空环境下进行电弧重熔，还能有效的降低金属材料中氢、氧、氮等气体元素的含量。VAR真空电弧重熔炉真空电弧重熔炉 (VAR)2024年10月25日 脉冲真空电弧蒸发是以简单的工艺产生金属离子，形成极薄膜和纳米粒子的唯一方法。 在微粒子的形成等方面，可以获得其他蒸发法不能获得的效果。 特点APD系列｜电弧等离子法纳米粒子形成装置｜纳米粒子形成 适用于超高真空环境中多维度纳米精度位移功能，负载可达几公斤，行程达到50mm，小步长50nm，配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nmQuantum Design电弧等离子体沉积系统APD
APS1｜电弧等离子体蒸发源｜纳米粒子形成装置｜热处理・
2024年10月25日 通过将本蒸发源增设在既存的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的"蒸发材料"，生成具有新特性的材料。 特点ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP 脉冲真空电弧蒸发是以简单的工艺产生金属离子，形成极薄膜和纳米粒子的唯一方法。 在微粒子的形成等方面，可以获得其他蒸发法不能获得的效果。ULVAC爱发科 电弧等离子法纳米粒子形成装置 APDP2019年11月18日 流动液面真空蒸镀法制备纳米粒子的原理 特点：①可制备平均粒径约3nm的小微粒；②粒径均匀、分布窄；③纳米颗粒均匀地分布在油中；④粒径的尺寸可控。218通电加热蒸发法 通过碳棒与金属相接触，通电加热使金属熔化。金属与高温碳棒反应并蒸发 粉体人必须了解！纳米粉体的25种制备方法 杭州九朋新 2013年4月22日 • 基本原理：在高 真空中蒸发的金 属原子在流动的 油面内形成极超 微粒子。 • 产品为含有大量 超微粒的糊状油。 • 可制备平均粒径约3nm 的超微粒， 而惰性气体 蒸气法时很难获得这样 小的微粒。 大。 但是直流溅射一般只 累电子，使其表面呈现负偏 能用于金属靶材。 从而实现溅射。 • 可制备多种纳米金属，包括高熔点和低 熔点金属。 • 能制备多组元的化合物纳米 第五章 纳米微粒的制备与表面修饰 百度文库
真空电弧等离子射流蒸发法沉积超微粉
1991年12月25日 摘要: 在真空电弧等离子喷涂设备上设计安装了超微粉的制备装置。 制备出Fe,Si,Ni,Mo,TiAl,Ti3Al 和Si3N4等超微粉。 通过控制真空室工作压力和等离子弧电流,超微粉的粒度可分别为5,10,20和50nm。瓷超微粉〔‘一 “。 其中真空电弧等离子射流蒸 发反应法既可在一定范围内任意调整超微粉 的化学组成， 又可控制粉中二次产物数量和 粉末的粒度， 特别适合制备合金及其氧化 物、 碳化物等超微粉末。 原理及工艺 真空电弧等离子射流蒸发反应法就是利电弧等离子射流蒸发反应法 制备碳化硅基超2005年8月2日 射线光电子能谱（)>D）等手段对超细微粒及其集合 体的结构与物性进行了分析研究1 ( 实验研究 $% 样品制备 采用真空电弧装置（见图$）制备铁磁性=,>?1 真空腔的预置真空度为";"$>5，真空腔工作气氛 为高纯度（!;J）*+气1工作电极分别是直径电弧法磁性超细微粒分析直流电弧等离子体法的基本原理是在惰性气氛或反应性气氛中，通过直流放电(或其他方式)使气体电离产生高温等离子体，从而使金属熔融蒸发，得到金属蒸汽，金属蒸汽与周围惰性气体原子或反应性气体发生激烈碰撞而进行骤冷或发生化学反应形成超细微粒。东莞市微弧环保科技有限公司